上海集成电路配备资料工业立异中心请求晶圆对准处理专利进步晶圆对准功率

  金融界2025年5月2日音讯，国家知识产权局信息数据显现，上海集成电路配备资料工业立异中心有限公司请求一项名为“一种晶圆对准处理方法、设备、电子设备和体系”的专利，公开号CN119902416A，请求日期为2023年10月。

  专利摘要显现，本请求触及集成电路制作工艺范畴，公开了一种晶圆对准处理方法、设备、电子设备和体系，方法有：取得对准条件数据库；对准条件数据库包含满意预设查核条件的方针对准条件；判别使用方针对准条件对待对准晶圆进行对准是不是满意预设对准条件；若满意预设对准条件，则调用方针对准条件对待对准晶圆进行对准；若不满意预设对准条件，则调用其它对准条件对待对准晶圆进行对准，以满意预设对准条件。该方法可以完成主动调用对准条件对待对准晶圆进行对准，进步晶圆对准功率；而且，防止对工艺时效内的对准反常晶圆返工，削减对晶圆基体形成损害，提高晶圆良率，一起削减光刻胶损耗。

  天眼查资料显现，上海集成电路配备资料工业立异中心有限公司，成立于2020年，坐落上海市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本1150000万人民币。经过天眼查大数据分析，上海集成电路配备资料工业立异中心有限公司参加招投标项目65次，产业线条，此外企业还具有行政许可211个。